Лазерный конфокальный микроскоп LEXT OLS5000 — новейшая разработка в области конфокальной микроскопии. По сравнению с предыдущей моделью OLS4100 имеет:
непревзойденное разрешение по оси Z — теперь 6 нм;
шумы при измерении по оси Z — 1 нм;
новая цифровая CMOS камера с повышенным fps и разрешением изображения 4K;
скорость — сканирование занимает в 4 раза меньше времени по сравнению с OLS4100;
автокорректировка шумов при построении модели за счет специально разработанного алгоритма Smart Judge;
простота — панорамная 3D модель поверхности после нажатия одной кнопки;
новые объективы с большой рабочей дистанцией, скорректированные под свет 405 нм;
новая рама для образцов высотой до 210 мм;
гарантированная точность при измерении на сшитых изображениях объектив 10x: 5,0+L/100мкм, объектив 20x или больше: 1,0+L/100мкм (L: длина сшивки [мкм]);
Прибор предназначен для изучения структуры и топографии поверхности у прозрачных и непрозрачных образцов. LEXT OLS5000 работает по методам оптического контрастирования: светлое поле, поляризованный свет и ДИК. Объединяет в себе 2 микроскопа — исследовательский оптический моторизованный микроскоп и лазерный конфокальный измерительный микроскоп для измерения линейных размеров, а также лазерный профилометр профилограф и может быть использован как сканирующий микроскоп. Увеличение 17280х и высокое разрешение среди подобных микроскопов. Уникальная возможность исследования наклонных поверхностей с углом наклона до 85.
Три метода наблюдения образца:
цветной трехмерный конфокальный (real-color confocal),
высокоразрешающий трехмерный конфокальный (highresolution confocal)
трехмерный обзор по карте высот (height data).
Многофункциональное программное обеспечение позволяет получать 2D и 3D изображения исследуемого образца без контакта, что означает отсутствие какого-либо механического воздействия на исследуемую поверхность.
Лазерный микроскоп используется для изучения морфологии поверхности вплоть до нанометрового масштаба. Позволяет получать 3д изображение поверхности образца и измерять такие параметры, как шероховатость поверхности, средние толщины и геометрические размеры структурных элементов, находящихся на поверхности. Чтобы исключить внешние воздействия окружающей среды на измерения, включает гибридный механизм гашения вибрации, который устраняет необходимость в специальной стойке, и позволяет проводить измерения на любом рабочем столе.
Примеры изображений, полученных с использованием микроскопа:
Изображение микрочастиц молибдена, высаженных на предметное стекло, полученное в оптическом режиме работы.
Изображения микрочастиц молибдена, полученные при лазерном сканировании образца (высотная карта и изображение поверхности, полученное при сканировании лазером)